一、英伟达、台积电考虑使用SiC作为未来先进封装中介层
英伟达、台积电有望在未来的先进封装中使用SiC
根据行家说三代半,9月2日,据中国台湾媒体报道,英伟达正计划在新一代GPU芯片的先进封装环节中采用12英寸碳化硅衬底,最 晚将在2027年导入。
台积电广发英雄帖布局SiC,产业信息接踵而至
近期相关报道频出,我们认为可能是台积电期待产业链共同配合推进。根据芯智讯,近期半导体业界传出消息称,台积电正广发 “英雄帖”,号召设备厂与化合物半导体相关厂商参与,计划将12英单晶碳化硅(SiC)应用于散热载板,取代传统的氧化铝、蓝 宝石基板或陶瓷基板。
中国台湾股市反应强烈,A股SiC板块仍处于相对低位
根据知新闻9月17日报道,汉磊及嘉晶近期受惠碳化硅转机题材大涨,今日同步亮登涨停。根据Wind数据显示,中国台湾股市SiC相关标的在九月涨幅显著,其中嘉晶更是连续4天涨停。 回顾22年至今,A股SiC板块经历了较长时间的下行期,我们认为板块整体处于相对低位。
二、为何英伟达和台积电亟需解决CoWoS散热问题
英伟达算力芯片功率持续上升,对散热提出更高要求
根据Nvidia、KAIST、tomshardware,以单die维度,H100单位面积功率约0.86w/mm²,Rubin 约1.1w/mm²,下一代Feynman约 1.2w/mm²,未来的架构甚至将冲高至2w/mm²,将是H100的233%。 我们认为伴随着多die和更多HBM的设计,热传导的压力进一步加大,材料中的热导率等性能变得更加关键。
芯片发展遭遇“功耗墙”制约,散热是核心制约之一
根据《高算力Chiplet的热管理技术研究进展》,在微处理器40多年的发展中,晶体管数量呈指数级增加,但是典型的热设计功耗 (TDP)在最近20年基本保持在100~200W,导致芯片性能提升缓慢,集成电路发展受到“功耗墙”的严重制约。相比于SoC,基 于异质集成先进封装的Chiplet 可以实现更大面积、更多功能、更高密度的芯片集成,但也导致总热功耗增加、热分布不均、封装中 的热输运困难,同时存在严重的多物理场耦合效应,给热管理带来了更加严峻的挑战。 根据Yole,英伟达和AMD在追求算力大幅提升的情况下,不得不继续提高芯片功率。
AI芯片与HBM存储紧密结合,热量堆积可能产生更多问题
根据Nature,硅基器件中的热传输基础为了冷却产生的热点,热量必须从产生点或局部最大值沿着系统中的热梯度转移。热传递的 两个最重要的材料属性是热容和热导率。传统层间介电材料提供的热绝缘进一步阻碍了散热,恶化了局部热点问题。这些挑战会导 致结温升高、器件性能下降以及过早失效的可能性增大。 根据三星电子相关论文,HBM 的温度升高可归因于环境温升(32%)、HBM 自身热阻(19%)、HBM 上方散热环境(约 11%) 以及来自 ASIC 的热耦合(38%)。
AI芯片因高速链接需求,基本上离不开CoWoS封装
根据Semianalysis,HBM 和 CoWoS 是互补的。HBM 的高焊盘数量和短走线长度要求需要像 CoWoS 这样的 2.5D 先进封装技术来 实现在 PCB 甚至封装基板上无法完成的如此密集、短的连接。CoWoS是主流的封装技术,以合理的成本提供最高的互连密度和最 大的封装尺寸。由于目前几乎所有的 HBM 系统都封装在 CoWoS 上,并且所有先进的 AI 加速器都使用 HBM,因此推论几乎所有 领先的数据中心 GPU 都由台积电封装在 CoWoS 上。 根据半导体产业纵横,HBM(高带宽内存)已是 AI 芯片的标配,但它不是随便一个封装就能适配。HBM 必须与处理器核心超近距 离、高带宽连接,这需要极密的走线与超短的连接距离。CoWoS 通过中介层提供这样的环境,让 HBM 的带宽(最高可 达 3.6TB/s)发挥到极致。
在高功率趋势下,CoWoS中介层已面临多项挑战
根据Semianalysis 24年8月的报道,Blackwell 家族在实现大批量生产方面遇到了重大问题。由于台积电的封装问题和英伟达的设 计,原始Blackwell封装的供应受到限制。Blackwell封装是第一个采用台积电CoWoS-L技术封装的大批量设计。 根据Semianalysis,CoWoS-L 是一项更复杂的技术,出现了各种各样的问题。其中一种是与在中介层中嵌入多个Bump有关,在有 机中介层内会导致各模块之间的热膨胀系数 (CTE) 不匹配,从而导致翘曲。
结论梳理:解决CoWoS封装散热问题成为AI算力芯片发展重要课题
根据《大功率电力电子器件散热研究综述》,当前大功率电力电子器件正朝着高功率水平、高集成度的方向发展,因此散热问题不 可避免的受到关注。已有研究表明,半导体芯片的温度每升高10 ℃,芯片的可靠性就会降低一半,器件的工作温度越高,器件的生 命周期越短。
三、为何SiC成为CoWoS interposer主要考虑对象
CoWoS成为算力发展关键技术,英伟达表示其无可替代
根据《Reliability Improvement Research of 2.5D CoWoS package》,2.5D CoWoS封装采用中介层互连技术,使用C2W(芯片到 晶圆)技术将ASIC、HBM和中介层连接为一个整体,再与基板连接,实现芯片、中介层和基板之间的互连。CoWoS技术旨在实现 更高集成度、更小封装尺寸、更短互连路径,以优化线宽和间距利用,提高传输速率,降低损耗和延迟。 根据天天IC,英伟达CEO黄仁勋在今年5月的采访中表示,CoWoS是非常先进的技术,“在目前除了CoWoS,我们无法有其他选 择”。
CoWoS核心价值在于interposer(中介层)的连通作用
根据广电计量,CoWoS是由Chip on Wafer on Substrate缩写而来,即先将各主芯片和储存器集成堆叠到无源的Wafer(中介层) 上,再将CoW部分封装在有机载板Substrate上。Interposer上的RDL使得各芯片之间的电信号可以直接交流,并通过Interposer中的硅通孔(TSV)传输到有机载板以完成与外界的 连接。这种封装形式具有以下优点: 1、减小器件所占用的面积,充分利用纵向空间,降低功耗; 2、缩短各芯片之间的电信号传输距离,减少导线寄生电容的影响。
CoWoS核心在于interposer,目前可划分为S、R、L三种类型
根据洞见热管理,CoWoS技术根据中介层所采用的材料不同,可分为 CoWoS-S(硅中介层)、CoWoS-R(RDL重布线)和 CoWoS-L(LSI,重布线+部分硅中介层)三种类型。 随着CoWoS封装在高性能计算(HPC)芯片上的广泛应用,其热管理问题正成为影响系统稳定性和性能释放的关键瓶颈。与传统封 装结构相比,CoWoS具备更高的集成密度和更复杂的堆叠结构,热流通路不再是单一方向的导热,而是需要穿越多个功能层、封装 材料和界面接触面。热路径中任何一层导热性能的不匹配,都可能导致局部热点、热阻叠加,进而限制芯片频率提升与长期可靠 性。
Interposer的材料选择对芯片散热起到重要作用
根据IBM的测试,玻璃中介层FCPBGA的逻辑芯片温度比硅中介层FCPBGA高约14℃,这仅仅是因为玻璃中介层的热导率较低。可 以看到热量在封装芯片中四处发散,在同等条件下热导系数更低的interposer材质,能使整体温度更低。
SiC用作Interposer的热性能有望高于现有的硅和玻璃
根据北京大学的相关论文,其制备的热管interposer在散热性能上显著优于硅与玻璃,证明了SiC衬底作为大功率器件散热主题材料 的潜力。虽然和CoWoS的interposer有差异,但从侧面验证了SiC在作为CoWoS中interposer的性能与可行性。
随着Interposer的变大,CoWoS的硅中介层还面临开裂等难题
根据Semianalysis,因为硅中介层越来越难以扩展,MI300 CoWoS-S 可能接近单个硅中介层的极限。这是因为硅中介层的脆弱性, 这种硅中介层厚度仅为 100 微米,当中介层在工艺过程中缩放到更大的尺寸时,存在分层或开裂的风险。
金刚石仍难以匹配芯片制造工艺,使其目前还难以成为Interposer的选择
根据Nature 25年8月新文章,金刚石无论是单晶或是多晶,在IC散热领域应用仍存在较多可行性问题。 Interposer的制造需要经历光刻等制造工艺,且对材料的要求高。根据Semianalysis,芯片的最大尺寸通常为 26 毫米 x 33 毫米, 因为光刻工具的狭缝/扫描将该尺寸最大化。由于仅 GPU 芯片就接近这个限制,并且还需要将 HBM 安装在它周围,因此中介层需 要很大。未来的先进封装对光刻等制造工艺还提出了更高要求。根据Veeco,未来五年内互连密度要求不断提高,将推动对更小线路/空间要 求的需求。这些要求正在影响用于创建先进封装结构的封装技术。特别是,光刻和相关的湿法工艺在整个工艺领域都面临着挑战, 从凸块、柱子和 RDL 到贯穿硅通孔 (TSV)、中介层和混合键合。 因此我们认为在金刚石在尚未能解决芯片制造(如光刻、刻蚀、镀膜等)的基本要求之前,还难以成为interposer的选项。
SiC成为解决Interposer痛点的重要方向
根据Semivision,芯片的内部热路径涉及多层——硅衬底、金属互连、微凸块、底部填充、热界面材料 (TIM) 等。由于这些分层 的热界面,热量无法 100% 有效地传递到盖子上,从而导致局部“热点”。 这种累积热阻是限制芯片最大功率输出的主要因素之 一。提高热传导效率第一个关键在于缩短热路径并降低每层的界面热阻,并结合引入高导热材料,例如:SiC 衬底等。 近些年Piotr Mackowiak、Jared E. Payne等团队已在SiC的interposer上做了通孔、Bonding等相关研究,我们认为SiC用于先进封装 领域的interposer做了较好的理论指导,结合SiC产业链在功率器件领域多年的芯片制造经验,SiC作为CoWoS的Si interposer未来替 代者已具备一定的理论和产业基础。
SiC通孔有望实现高深宽比,进一步契合先进封装未来高速、降温方向
根据Nature,3D 集成涉及使用具有导电晶圆通孔 (TWV) 的中介层芯片,该芯片集成了两个或多个小芯片。这些小芯片可以连接 到中介层的同一侧和/或不同侧。TWV 提供小芯片之间的电气互连。为了实现高性能,小芯片之间需要高密度的互连。中介层中 TWV 密度的极限由 TWV 的最大纵横比决定,许多高纵横比通孔研究都使用硅作为其 TWV 衬底。然而,由于连接的小芯片会产生 大量热量,因此需要具有高导热性的中介层来实现高性能。单晶碳化硅 (SiC) 是一种具有高导热性的半导体,这种属性可提供高 散热性。